真空镀膜产品掉膜问题

欢迎交流探讨。 相信多数真空电镀同行朋友都遇到过类似问题。

可以考虑从以下几个方面排除：发生掉膜的原因很多也很复杂。处置起来很棘手。

 1外表清洁度

可以考虑离子源清洗时氩气放大、时间长点。 产品外表洁净度不够。

 2清洗过程中的问题

或更换了清洗液。 镀前清洗不到位。

 3工艺的问题

真空镀膜时间和电流上做适当调整。 工艺参数是否有变动。

 4靶材的问题

检查和更换。 钛靶是否中毒。

 5真空腔是否漏气

 进行一次捡漏。

 6产品外表氧化

可以自行判断处置。 氧化的原因很多。