下面介绍影响离子镀膜质量的特有因素。镀件的材质、表面结构、晶体结构、镀件温度、蒸发物质、蒸发速度、蒸发粒子对镀件的入射方向等对膜层质量的影响与蒸发镀成膜时相同。
1.离子效应对成膜的影响
使镀件表面的结构改变，离子镀膜用气体离子进行轰击。表面电位分布均匀，能以高密度粒子生长成膜。
2.活性气体分压的影响
当甲烷气压为时，活性气体分压影响成膜特性。以甲烷作活性气体沉积碳化钛膜为例。不会形成TiC膜，只能形成Ti膜。
3.镀件温度对膜层硬度的影响
生成的TiC膜;600℃，以甲烷制备TiC膜为例。镀件温度在400℃以下。硬度接近
