一类是生产过程控制参数，常用的真空电镀工艺参数分为两类。另一类是电镀层质量控制参数。生产过程控制参数包括镀液成分与含量、pH值、镀液工作温度、阴极或阳极电流密度、阳极材料、阴阳极面积比等;镀层质量控制参数包括镀层结合力、镀层厚度、外观要求等。
包括每平方分米或每千克的原料和生产成本、环境处置费用等。还有一些特定的工艺参数，也可以将真空电镀工艺参数分为技术指标和经济指标两大类。技术指标主要包括镀层外观、镀层结合力、镀液分散能力、镀液深镀能力、镀层结晶状态、镀层耐蚀性能、镀液稳定性、电流效率(与堆积速度有关)等;经济指标主要是指与生产和管理利息有关的指标。比如脆性、孔隙率等。功能性镀层则要加上功能性能指标，比如外表硬度、电导率、反光系数等
