在真空喷涂方面,主要介绍抗高温氧化NiCoCrAIYTa涂层、抗空泡腐蚀Ti-Ni涂层、Ti生物涂层和抗等离子体作用W涂层等的研究和应用情况,目前抗高温氧化NiCoCrAIYTa涂层生产线已经建立,生产了抗高温氧化性能良好的涂层叶片,该涂层叶片发动机已经装备了我国部分飞机。薄涂层技术由于可以获得厚度在10-50mm、性能优良的涂层而成为真空喷涂发展的新方向。与普通真空喷涂相比,薄涂层技术的真空电镀要求更高,可以通过工艺控制实现液相或者气相喷涂,获得所需要的层状、柱状或者复合结构的涂层、从而在SOFC、TBC、纯氧技术等方面有着广阔的应用前景。采用薄涂层技术获得性能优于普通真空喷涂的金属涂层。由于电源和喷涂枪功率的原因,还无法实现陶瓷薄涂层的开发,目前正在开通这方面的设备改造、喷枪设计等研究工作。
在真空镀膜方面,主要采用多阴极弧、离子源磁控溅射和等离子增强化学气相沉积等工艺研制了金刚石膜、类金刚石膜和多元素多层硬质膜,目前这些薄膜已经成功应用于高保真喇叭膜、微型转头、高精密光盘模具等,取得了较大的经济和社会效益。








